随着社会的发展，个性化定制需求的不断增长，工业领域出现小排量、多品种以及缺陷不确定性，对生产过程缺陷检测如何适应这种变化，生产现场人员根据现场收集的缺陷不断去完善缺陷检测装置，同时检测装置还可以适应不同品种的产品的缺陷检测。
为此，微智科技推动了智能工业显微检测标准化平台利用高精度运动控制系统控制三个轴（X、Y、Z）的直线滑台运动，进行切换视野以及自动扫描对焦，以实现图像的采集。再通过智能算法对采集图像中的芯片轮廓进行识别，提取ROI（目标识别区域），并依次完成器件识别、轮廓提取、尺寸测量、缺陷检测、字符识别等相关内容的自动化检测，并输出检查报告。
检测项目
尺寸测量：可实现对器件轮廓的提取，实现对光敏面同心度、器件尺寸、空间位置、芯片偏移量等相关尺寸的测量；
缺陷检测：可实现对芯片空贴或重贴、对光敏面上脏污和划痕等不良内容的检测；
字符识别：可实现对芯片上表面字符的检测与识别；
主要技术参数
产品规格：580 mm×615 mm×623 mm
检测范围：300 mm×300 mm×100 mm
检测精度：尺寸测量精度为3μm，缺陷检测及字符识别精度为0.5μm
检测节拍：≤ 5s/芯片（含自动对焦、图像采集和数据处理）
检测准确率：≥ 99%
图像分辨率：5496*3672（可定制）
图像采集帧率：19帧/秒、36帧/秒（可定制）
物镜倍数：0.8倍、1倍、4倍、6倍
打光方式：同轴光源、点光源、环形光源、组合光源
对焦方式：一键自动对焦、实时对焦
图像扫描方式：精准定位扫描
图像采集方式：连续采集、软触发采集、外触发采集
自动识别：通过基于深度学习的智能识别技术，对字符及其缺陷进行精确检测
检测报告：自动生成检测报告
